THS-10刻线仪防暴片 测量显微镜 防暴片测厚仪

    日本UNION公司THS-10

案例:非接触测量 易拉罐冲压后的厚度测量,晶圆厚度的直接测量. 测量误差1微米,读数精度0.1微米

测量行程XY 100*100毫米 测量误差1微米

厚度测量

测量步驟 

1.在工作台未放置工件时，垂直移动对焦系统，待两个显示器上都显示对焦的符号后，将Z轴计数器归零.

2 放上工件，移动对焦系統，对工件底部对焦。

3.移动上对焦系統，对工件表面对焦。上对焦系统移动的距离即为工件的厚度

  测量行程XY 100*100毫米  Z轴25毫米，测量误差1微米

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